项目信息
项目名称
北京市发明专利奖
企业名称
北京北方华创微电子装备有限公司
公示时间
项目级别
市级
组织部门
北京市知识产权局
年份
2013
课题名称
电感耦合线圈及其电感耦合等离子体装置
证书编号
-
资助金额
-
申报批次
第二届
人员名称
宋巧丽、李东三、孙岩
数据来源
第二届北京市发明专利奖获奖项目名单
来源链接
https://www.huaxiataike.com/news/20189.html