项目申报信息
| 项目名称 | 证书编号 | 公示时间 | 课题名称 | 补贴金额 | 备注 |
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| 经开区绿色低碳高质量发展资金污染防治类项目 | - |  |
2022年绿色工厂 | - | 查看详情 |
| 北京市知识产权资助金拟资助 | - | |
专利资助 | - | 查看详情 |
| 国家知识产权示范企业 | - | |
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| 中关村企业专利与技术标准项目 | - | |
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| 中关村高新技术企业 | 20212051050904 | |
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| 中国专利奖 | ZL201610232603.3 | |
等离子体处理设备及其操作方法 | - | 查看详情 |
| 高新技术企业 | GS202211000089 | |
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| 国家级制造业单项冠军产品 | - | |
ELEDE系列高密度等离子体刻蚀机 | - | 查看详情 |
| 高新技术企业 | GF201311000358 | |
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| 北京市工程技术研究中心 | - | |
北京市微电子刻蚀与薄膜工艺装备工程技术研究中心 | - | 查看详情 |
| 国家级企业技术中心 | - | |
技术中心 | - | 查看详情 |
| 北京市工程技术研究中心 | - | |
北京市MOCVD工程技术研究中心 | - | 查看详情 |
| 北京市工程技术研究中心 | - | |
北京市微电子刻蚀与薄膜工艺装备工程技术研究中心 | - | 查看详情 |
| 北京市工程技术研究中心 | - | |
北京市MOCVD工程技术研究中心 | - | 查看详情 |
| 北京市发明专利奖 | - | |
电感耦合线圈及其电感耦合等离子体装置 | - | 查看详情 |
