项目信息
项目名称
中国专利奖
企业名称
清华大学
公示时间
项目级别
部委
组织部门
国家知识产权局
年份
2018
课题名称
采用气浮平面电机的硅片台双台交换系统
证书编号
ZL200910172949.9
资助金额
-
申报批次
第二十批
人员名称
朱煜,张鸣,汪劲松, 闵伟,尹文生,胡金春,徐登峰,杨开明,段广洪,田丽,许岩
数据来源
国家知识产权局关于第二十届中国专利奖授奖的决定
来源链接
https://www.huaxiataike.com/news/19270.html