项目申报信息
| 项目名称 | 证书编号 | 公示时间 | 课题名称 | 补贴金额 | 备注 |
|---|---|---|---|---|---|
| 高新技术企业 | GR202331006593 |  |
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| 中国专利奖 | ZL201910364335.4 | |
一种激光退火装置 | - | 查看详情 |
| 高新技术企业 | GR202031003962 | |
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| 高新技术企业 | GR201431001577 | |
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| 中国专利奖 | ZL201110241791.3 | |
一种步进光刻设备及光刻曝光方法 | - | 查看详情 |
| 国家级制造业单项冠军产品 | - | |
SSB300系列光刻机 | - | 查看详情 |
| 中国专利奖 | ZL201310747393.8 | |
一种调焦调平装置 | - | 查看详情 |
| 中国专利奖 | ZL201410857409.5 | |
一种硅片边缘保护装置 | - | 查看详情 |
| 中国专利奖 | ZL201520269105.117 | |
一种投影物镜系统 | - | 查看详情 |
| 中国专利奖 | ZL201010619055.2 | |
一种背面对准装置及方法 | - | 查看详情 |
| 中国专利奖 | ZL201110053278.1 | |
分体式气足 | - | 查看详情 |
| 国家技术创新示范企业 | - | |
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| 国家级企业技术中心 | - | |
技术中心 | - | 查看详情 |
| 中国专利奖 | ZL201010619283.X | |
一种大视场投影光刻物镜 | - | 查看详情 |
